Oct 15, 2020 특허 읽기: '플라즈마 처리 장치, 그의 플라즈마 처리 방법, 및 플라즈마 식각 방법' (10-2015-0185181) Oct 07, 2020 특허 읽기: '다중 패터닝 프로세스에서 원자층 증착을 사용한 스페이서 프로파일 제어' (10-2020-0105531) Jun 16, 2020 특허 읽기: '지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법' (10-1263454)