Feb 17, 2026 논문 읽기 04: 'Deposition of ALD-Molybdenum for Flash Memory Wordline Metallization' Oct 07, 2020 특허 읽기: '다중 패터닝 프로세스에서 원자층 증착을 사용한 스페이서 프로파일 제어' (10-2020-0105531)