Nov 23, 2020 특허 읽기: '원자층 증착 장치 및 이를 이용한 박막 형성 방법' (10-2019-0002987) Oct 15, 2020 특허 읽기: '플라즈마 처리 장치, 그의 플라즈마 처리 방법, 및 플라즈마 식각 방법' (10-2015-0185181)