Oct 07, 2020 특허 읽기: '다중 패터닝 프로세스에서 원자층 증착을 사용한 스페이서 프로파일 제어' (10-2020-0105531) Jul 21, 2020 논문 읽기 03: 'Structural, Optical and Electrical Properties of HfO2 Thin Films Deposited at Low-Temperature Using Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition', Materials (2020), 13, 2008 Jun 16, 2020 특허 읽기: '지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법' (10-1263454) Jun 08, 2020 논문 읽기 02-B: 'New development of Atomic Layer Deposition: Processes, Methods and Applications', Sci. Technol. Adv. Mater., 20, (2019), 66 May 29, 2020 논문 읽기 02-A: 'New development of Atomic Layer Deposition: Processes, Methods and Applications', Sci. Technol. Adv. Mater., 20, (2019), 66 Oct 25, 2019 논문 읽기 01: 'Atomic layer deposition: An overview', Chem. Rev. (2010), 110, 111-131