Jun 24, 2026 HAR 구조에서 Step Coverage를 지배하는 공정 파라미터 - Feeding Time과 Purge Time의 물리적 근거 Mar 17, 2026 Mo ALD 특허 분석 도구를 만들었다 — KIPRISPlus API + Streamlit Cloud 배포 Feb 17, 2026 논문 읽기 04: 'Deposition of ALD-Molybdenum for Flash Memory Wordline Metallization'