May 21, 2025 PEALD 내용 정리 04 May 21, 2025 PEALD 내용 정리 03 May 21, 2025 PEALD 내용 정리 02 May 20, 2025 PEALD 내용 정리 01 Nov 23, 2020 특허 읽기: '원자층 증착 장치 및 이를 이용한 박막 형성 방법' (10-2019-0002987) Oct 23, 2020 특허 읽기: '반도체 소자의 제조방법' (10-2168443) Oct 15, 2020 특허 읽기: '플라즈마 처리 장치, 그의 플라즈마 처리 방법, 및 플라즈마 식각 방법' (10-2015-0185181) Oct 07, 2020 특허 읽기: '다중 패터닝 프로세스에서 원자층 증착을 사용한 스페이서 프로파일 제어' (10-2020-0105531) Jul 21, 2020 논문 읽기 03: 'Structural, Optical and Electrical Properties of HfO2 Thin Films Deposited at Low-Temperature Using Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition', Materials (2020), 13, 2008 Jun 16, 2020 특허 읽기: '지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법' (10-1263454) Jun 08, 2020 논문 읽기 02-B: 'New development of Atomic Layer Deposition: Processes, Methods and Applications', Sci. Technol. Adv. Mater., 20, (2019), 66 Jun 04, 2020 Aricle:'EUV lithography in outer space; chemistry in space' 읽고 번역해보기 May 29, 2020 논문 읽기 02-A: 'New development of Atomic Layer Deposition: Processes, Methods and Applications', Sci. Technol. Adv. Mater., 20, (2019), 66 Oct 28, 2019 반도체 8대 공정 정리 Oct 25, 2019 Wonik IPS products note Oct 25, 2019 논문 읽기 01: 'Atomic layer deposition: An overview', Chem. Rev. (2010), 110, 111-131